侵权投诉

EUV产量到位了,是不是也该考虑良率了?

E4Life ? 2021-07-22 09:22 ? 次阅读
EUV产量到位了,是不是也该考虑良率了?

在当前的半导体制程不断往7nm以下发展时,EUV光刻机就成了IDM和代工厂必不可少的工具之一。随着台积电、三星英特尔和SK海力士等企业的EUV光刻机纷纷到位,这些顶级半导体制造厂商和EUV光刻机的唯一制造者ASML还有另一个问题需要担心,那就是光罩防尘膜。

90%透射率这道坎

光刻机防尘膜 / 三井化学

光罩防尘膜是一种透明的薄膜,主要用于保护昂贵的光罩,保持清洁,以此提高半导体生产效率。尽管光刻机一般都位于相当严格的洁净室内,EUV光刻机面世初期也有不少人认为EUV不需要防尘膜,因为不会出现颗粒的存在,但实际情况下还是难免避免生产过程中杂质的出现。据ASML的说法,EUV每曝光1万次就会生成一个杂质颗粒。通过使用防尘膜,晶圆厂可以有效避免污染而产生的缺陷。

虽然这是一个有效解决晶圆缺陷的办法,却影响了光刻机的光线透射。被防尘膜吸收的紫外光线虽然肉眼看不出,但在光刻机的表现上就成了功耗损失。当前DUV防尘膜的透射率都已经做到了99%以上,EUV防尘膜却始终差强人意。因此,ASML和相关代工厂商都在研究如何生产出透射率更高的防尘膜。

然而,ASML因为需要专心去做EUV光刻机的生产开发,很难再兼顾防尘膜的生产,而且在他们的研究下,透射率一直进展缓慢。2016年,ASML推出的首批EUV防尘膜只有78%左右的透射率。2019年时,经过了一段时间的持续研发,平均透射率也仅仅提升了3.5%,达到83%的水平。

三星更是明确表示,不到90%以上的透射率不会使用EUV防尘膜。毕竟在当前半导体缺货的情况下,透射率下降影响的是产量,而没用防尘膜最多只能影响小部分良率。因此,当前无论是三星和台积电都没有在EUV光刻机上使用防尘膜。

除了透射率之外,EUV的防尘膜还有两道坎,那就是散热和成本问题,不过这两个问题其实也和透射率一样,都可能要从材料上解决。

离正式使用还有多久?

EUV防尘膜 / 三井化学

为此,2019年5月31日,ASML与日本三井化学公司达成协议,前者将EUV防尘膜技术授权给三井化学,由多年防尘膜生产经验的后者来负责生产。ASML联手加拿大企业Teledyne负责EUV防尘膜技术的开发,而三井则在日本大竹市进行防尘膜生产。

今年5月,ASML韩国销售经理提到,经过与Teledyne的携手开发,他们已经可以将EUV防尘膜做到90.6%的透射率,可以实现400W的持久功率。三井化学也在同月26日发布消息,正式宣布EUV防尘膜开始商用量产。

生产EUV防尘膜的并不只有三井化学一家,韩国企业FST和S&S Tech同样在生产相关产品,三星作为这两家厂商的大客户,也向他们投资了不少资金。就拿FST来说,利用碳纳米管材料,他们也成功将透射率做到了90%以上,还推出了自动安装和检测防尘膜的设备工具。毕竟在运用EUV防尘膜的生产过程中,防尘膜上的颗粒检测和防尘膜清洗与替换也是相当耗时耗力的步骤。

不过,别说是保证半导体生产的良率了,这两家的EUV防尘膜尚在研发或初期阶段,自己的良率还没保证,虽然EUV防尘膜已经变为他们的研发重心,但与ASML和三井化学相比,还有一段差距。

然而,韩媒报道,三星这家韩国巨头很可能还是会用ASML自家的光罩防尘膜。因为EUV光刻机只有ASML一家制造,如果不用他们自己推荐的防尘膜,很可能难以保证后续的售后维护工作,十几亿元一台的机器,坏了没处修可就难办了。

碳纳米管EUV防尘膜 / IMEC

比利时微电子研究中心(IMEC)其实也在研究EUV防尘膜,他们将多片碳纳米管防尘膜安装在NXE:3300 EUV光刻机上,测得单次极紫外光的透射率可高达97%,所能承受的功率更是可以达到600W。

结语

虽然已有EUV防尘膜开始投入量产,但业内人士爆料,三星很可能会在2023年才开始在EUV光刻机上使用防尘膜。毕竟即便是90.8%的透射率,依然对产量会有一定影响,与DUV光刻机99%以上的透射率相比,还是有差距。目前基本所有晶圆厂都在满载运行,在产量和良率的抉择上,影响更小的后者明显不是首选。
收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

夏日雨季洗衣/干衣帮手,三星智爱·呵护带你领略“净”之美

自入夏以来,高温和阴雨成了天气的主旋律,尤其是南方一些地区,已经进入了梅雨季节,这给大部分家庭的洗衣....
发表于 08-12 17:20 ? 30次 阅读
夏日雨季洗衣/干衣帮手,三星智爱·呵护带你领略“净”之美

三星电子副会长李在镕将获假释

昨日晚间时候,三星电子副会长李在镕在韩获假释,这一消息出来后引起了当地媒体及各界的关注和轰动。三星电....
的头像 lhl545545 发表于 08-10 09:05 ? 1163次 阅读
三星电子副会长李在镕将获假释

三星SSD核心部件的技术自主化研发历程

在上篇中,我们探讨了三星以NAND闪存技术为基础,推动了存储介质从HDD到SSD模式的转变。 今天,....
的头像 三星半导体和显示官方 发表于 08-09 17:26 ? 286次 阅读
三星SSD核心部件的技术自主化研发历程

三星玄龙骑士电竞显示器Neo G9: 全面提升游戏体验的电竞显示器

游戏的画质和音质在不断提升,因此,为尽情享受游戏,玩家们必须配备高品质的游戏设备,以获得最佳的游戏体....
发表于 08-09 16:58 ? 65次 阅读
三星玄龙骑士电竞显示器Neo G9: 全面提升游戏体验的电竞显示器

世界十大芯片制造公司排名

世界十大芯片制造公司排名 芯片是半导体元件产品的统称,是一种非常精细的半导体元件,一般芯片的体积比较....
的头像 璟琰乀 发表于 08-09 15:23 ? 1774次 阅读
世界十大芯片制造公司排名

用三星Neo QLED玩Xbox Series X 享受新世代游戏的乐趣

在刚刚结束的UDE2021国际消费电子与未来生活博览会上,三星电视与微软Xbox联合打造的“急速时刻....
发表于 08-09 11:30 ? 89次 阅读
用三星Neo QLED玩Xbox Series X 享受新世代游戏的乐趣

电视界的8K技术流,看三星Neo QLED 8K电视如何拿下王者段位

在8K显示技术飞速发展的当下,各行业领域也在争相开发并应用8K技术,如8K游戏、8K春晚、8K奥运会....
的头像 话说科技 发表于 08-09 10:36 ? 708次 阅读
电视界的8K技术流,看三星Neo QLED 8K电视如何拿下王者段位

光刻机原理怎么做芯片

光刻机原理怎么做芯片 光刻是集成电路中最重要的工艺,光刻机是制造芯片的核心装备,在芯片的制作中,几乎....
的头像 璟琰乀 发表于 08-07 14:54 ? 675次 阅读
光刻机原理怎么做芯片

星星相映,共赢未来! 三星携手红星美凯龙品牌严选活动启动

8月3日,“星星相映·共赢未来”三星电子与红星美凯龙联合战略推广活动正式启动,拉开了三星布局红星美凯....
发表于 08-03 16:46 ? 31次 阅读
星星相映,共赢未来! 三星携手红星美凯龙品牌严选活动启动

魅族18值得入手吗?魅族18参数配置拆解评测三星2K曲面屏+高通屏下指纹

魅族近几年的手机设备是真的不多,所以eWiseTech肯定是不会错过这款魅族18的。虽然这款魅族18....
的头像 智能移动终端拆解开箱图鉴 发表于 08-02 16:41 ? 3107次 阅读
魅族18值得入手吗?魅族18参数配置拆解评测三星2K曲面屏+高通屏下指纹

三星电子计划于2026年推出自动驾驶激光雷达

众所周知,三星集团(SAMSUNG)是韩国非常大的跨国企业集团,包括众多的下属企业,业务涉及电子、金....
发表于 07-30 15:59 ? 209次 阅读
三星电子计划于2026年推出自动驾驶激光雷达

瞒不住了,这款让人欲罢不能的三星Neo QLED 8K电视, 玩游戏也太绝了!

新时代玩家对游戏体验度的要求越来越高,而随着国内主机游戏市场的逐步发展扩大,大屏电视逐渐成为游戏娱乐....
的头像 话说科技 发表于 07-30 14:20 ? 255次 阅读
瞒不住了,这款让人欲罢不能的三星Neo QLED 8K电视, 玩游戏也太绝了!

英特尔接手高通代工,2025年赶超台积电和三星

英特尔接手高通代工,2025 年赶上台积电和三星 ? 在7月27日凌晨举办的Intel Accele....
的头像 E4Life 发表于 07-28 09:44 ? 3422次 阅读
英特尔接手高通代工,2025年赶超台积电和三星

美国出手阻挠,禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

美国华尔街日报7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国....
发表于 07-25 17:35 ? 632次 阅读
美国出手阻挠,禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

光刻机巨头ASML市值破纪录:突破2万亿;Intel 10nm工艺成功,成本爆降45%|一周科技热评

巴赫:东京奥运会将首次全部采用云技术支撑全球转播 ? 据国际奥委会主席巴赫介绍,由于疫情原因,今年东....
的头像 21克888 发表于 07-25 09:52 ? 3365次 阅读
光刻机巨头ASML市值破纪录:突破2万亿;Intel 10nm工艺成功,成本爆降45%|一周科技热评

华为哈勃入股光刻机企业科益虹源

继正式推出鸿蒙系统之后,近期,华为有大动作,旗下公司哈勃入股了由中科院微电子所控股的北京科益虹源公司....
发表于 07-22 17:15 ? 605次 阅读
华为哈勃入股光刻机企业科益虹源

美国出手阻挠!禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

美国媒体7月19日报道,美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机(极紫外光刻机)进入中国大陆。....
发表于 07-21 16:52 ? 478次 阅读
美国出手阻挠!禁止荷兰将EUV光刻机卖给中国大陆

格芯斥资10亿美元 纽约大规模扩厂

格芯周一宣布将在美国进行大规模扩厂计划,将斥资 10 亿美元于纽约州中马耳他镇 (Malta) 总部....
的头像 章鹰 发表于 07-20 09:07 ? 2329次 阅读
格芯斥资10亿美元 纽约大规模扩厂

南非暴动,三星、LG等大厂惨遭洗劫

除了在越南工厂被迫停工外,三星电子在南非遭遇了另一起暴击事件。依据techcentral消息,南非K....
发表于 07-19 17:38 ? 233次 阅读
南非暴动,三星、LG等大厂惨遭洗劫

三星3nm技术指标曝光 竟然还不如Intel

近日,有台媒对比了半导体工艺10nm及以下制程的技术指标演进对比图,其中技术指标主要是看晶体管密度,....
的头像 Simon观察 发表于 07-17 07:14 ? 2417次 阅读
三星3nm技术指标曝光 竟然还不如Intel

时间成本这样节省!三星智爱·呵护系列引领洗衣/干衣新趋势

我们生活在一个快节奏的时代,人们越来越追求效率,计较时间成本,“一寸光阴一寸金”这句话,在如今淋漓尽....
发表于 07-14 13:18 ? 89次 阅读
时间成本这样节省!三星智爱·呵护系列引领洗衣/干衣新趋势

三星宣布其首款集成式汽车级ISOCELL图像传感器已投入量产

通过延长小像素的曝光时间,4AC可以降低LED光源频闪造成的图像残缺现象。这为自动驾驶系统识别LED....
发表于 07-13 17:18 ? 2262次 阅读
三星宣布其首款集成式汽车级ISOCELL图像传感器已投入量产

新思科技与三星合作,加速推广变革性3纳米GAA技术

GAA晶体管结构是工艺技术进步的关键转折点,对于延续工艺进步趋势至关重要,为下一波超大规模创新提供保....
发表于 07-07 16:22 ? 106次 阅读
新思科技与三星合作,加速推广变革性3纳米GAA技术

光刻机原理介绍

光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 ? ? ? ?可能有很多人都无法切身理解光刻....
的头像 汽车玩家 发表于 07-07 14:31 ? 1998次 阅读
光刻机原理介绍

exynos880是什么处理器

? ? 5 月 27 日,三星发布全新 Exynos 880 处理器,而这也是继 Exynos 98....
的头像 汽车玩家 发表于 07-06 14:41 ? 2076次 阅读
exynos880是什么处理器

5月份韩国半导体产品出口大幅增长,存储芯片占65%!

韩国拥有三星电子和SK海力士这两大存储芯片制造商,存储芯片是韩国重要的出口商品。 援引韩国科学和信息....
发表于 07-05 17:47 ? 132次 阅读
5月份韩国半导体产品出口大幅增长,存储芯片占65%!

三星电视,为生活注入艺术灵魂

随着生活品质提升,消费者对美的要求也越来越高,作为家居环境的重要组成部分,家电逐渐被注入了时尚、艺术....
的头像 话说科技 发表于 07-04 12:09 ? 277次 阅读
三星电视,为生活注入艺术灵魂

三星宣布其基于栅极环绕型晶体管架构的3nm工艺技术已经正式流片

目前从全球范围来说,也就只有台积电和三星这两家能做到5纳米工艺以下了。6月29日晚间,据外媒报道,三....
的头像 广东省电子信息行业协会 发表于 07-02 11:21 ? 432次 阅读
三星宣布其基于栅极环绕型晶体管架构的3nm工艺技术已经正式流片

打造量声定制的观影体验!三星Neo QLED获得VDE空间声音优化认证

近日,三星电子宣布,其Neo QLED成为业内首款获得VDE“空间声音优化”认证的电视产品。 一般而....
发表于 07-02 11:11 ? 104次 阅读
打造量声定制的观影体验!三星Neo QLED获得VDE空间声音优化认证

中芯国际斥巨资留下国宝级人才,7nm工艺最快明年见到

对于中芯国际来说,留住梁孟松应该是没有悬念的事情了。6月25日,中芯国际召开了2021年第一次临时股....
发表于 07-01 16:09 ? 470次 阅读
中芯国际斥巨资留下国宝级人才,7nm工艺最快明年见到

传美国拿疫苗换台湾半导体,白宫发言人予以否认

早前美国宣布将捐赠250万剂莫德纳疫苗提供给台湾地区,这批疫苗已于台北时间20日抵达。 对此,白宫发....
发表于 07-01 15:29 ? 146次 阅读
传美国拿疫苗换台湾半导体,白宫发言人予以否认

三星正式宣布3nm成功流片,性能将完胜台积电

据外媒最新报道,三星宣布,3nm制程技术已经正式流片! 据悉,三星的3nm制程采用的是GAA架构,性....
发表于 07-01 15:27 ? 3564次 阅读
三星正式宣布3nm成功流片,性能将完胜台积电

这款“衣柜”,内藏玄机!三星衣物护理机让精致生活触手可及

要问今年夏天最流行的衣服是什么?毫无疑问必须是连杨超越都亲自下场为其站位的泡泡袖。作为席卷2021春....
的头像 话说科技 发表于 06-30 10:03 ? 366次 阅读
这款“衣柜”,内藏玄机!三星衣物护理机让精致生活触手可及

浅谈中国集成电路的发展之路

来源:文章转载自《科技导报》,作者:王阳元,谢谢。 日前,一条#院士说不解决卡脖子问题死不瞑目#的话....
的头像 MEMS技术 发表于 06-29 15:52 ? 928次 阅读
浅谈中国集成电路的发展之路

ASML第二代EUV光刻机跳票三年,售价恐贵出天际

第二代EUV光刻机原本预计最快可以2023年问世,但最新传闻称NXE:5000系列跳票,而且一下子就....
发表于 06-26 16:55 ? 256次 阅读
ASML第二代EUV光刻机跳票三年,售价恐贵出天际

三星首款基于MOSFET冰箱变频器设计采用英飞凌600V CoolMOS? PFD7

变频是当代变频器设计中,采用直流转交流的新兴转换趋势。与传统的开/关控制相比,变频能让产品应用更安静....
发表于 06-25 15:55 ? 404次 阅读
三星首款基于MOSFET冰箱变频器设计采用英飞凌600V CoolMOS? PFD7

三星电芯资料

三星电芯资料免费下载。
发表于 06-24 10:07 ? 81次 阅读
三星电芯资料

是德科技5G测试平台已被三星电子System LSI业务部门选中

三星选中是德科技 5G 测试平台,根据最新 5G NR 标准验证调制解调器。 2021年6月22日,....
的头像 AMDRadeon显卡中国 发表于 06-23 14:49 ? 535次 阅读
是德科技5G测试平台已被三星电子System LSI业务部门选中

国产14nm芯片,明年底量产有望!

中国电子信息产业发展研究院电子信息研究所所长温晓君在接受环球网记者采访时表示,国产14nm芯片明年底....
的头像 章鹰观察 发表于 06-23 09:11 ? 3117次 阅读
国产14nm芯片,明年底量产有望!

2021年Q1三星和vivo成为全球增长最快的5G智能手机厂商

近日Strategy Analytics发布2021年Q1全球5G智能手机出货量市场份额最新研究报告....
的头像 寰创通信 发表于 06-22 17:26 ? 719次 阅读
2021年Q1三星和vivo成为全球增长最快的5G智能手机厂商

丰盛光电申请创业板IPO获深交所受理

又一家LED照明产业链企业正式踏上了IPO之路。 据深交所创业板官网信息显示,6月16日,常州丰盛光....
的头像 百途LED照明 发表于 06-22 14:20 ? 497次 阅读
丰盛光电申请创业板IPO获深交所受理

我国对于光刻机需要的是更多的耐心

6月17日,A股芯片股全线大涨,多只股票涨停或封板,科创50指数涨幅也一度扩大至5%。芯片股成了当天....
的头像 Dialog半导体公司 发表于 06-21 11:48 ? 876次 阅读
我国对于光刻机需要的是更多的耐心

康奈尔大学与工程物理学院和三星联合开发出可变焦液晶超透镜

据麦姆斯咨询报道,康奈尔大学应用与工程物理学院和三星先进技术研究院的研究人员首创出一款全新可变焦液晶....
的头像 莱特波特LitePoint 发表于 06-21 10:25 ? 458次 阅读
康奈尔大学与工程物理学院和三星联合开发出可变焦液晶超透镜

华友钴业拟募资76亿扩建三元前驱体

华友钴业披露公开发行A股可转换公司债券预案,拟募资不超过76亿元,用于扩建动力电池三元正极材料、三元....
的头像 砺石商业评论 发表于 06-19 16:20 ? 682次 阅读
华友钴业拟募资76亿扩建三元前驱体

第三代半导体技术、材料、设备与市场论坛2021在长沙召开

据彭博社报道,该计划已预留约1万亿美元的政府资金,其中一部分将由中央和地方政府共同投资一系列第三代芯....
的头像 电子邦 发表于 06-19 11:27 ? 991次 阅读
第三代半导体技术、材料、设备与市场论坛2021在长沙召开

EUV路线图,High-NA EUV是下一步

来源:内容由半导体行业观察(ID:icbank)编译自「seekingalpha」,谢谢。 在科技行....
的头像 安波福中国 发表于 06-18 11:23 ? 462次 阅读
EUV路线图,High-NA EUV是下一步

芯片制造最关键的10大步骤你们知道哪些?

本文将带你一起体验芯片的制造过程。 制造芯片需要在晶圆片上不断累加图案,这些图案纵向连接,可达100....
的头像 芯片半导体 发表于 06-18 10:03 ? 1401次 阅读
芯片制造最关键的10大步骤你们知道哪些?

高通骁龙助力三星推出新一代移动PC

高通骁龙助力三星推出新一代移动PC:全新三星Galaxy Book Go和Galaxy Book G....
的头像 Dialog半导体公司 发表于 06-10 17:43 ? 938次 阅读
高通骁龙助力三星推出新一代移动PC

小尺寸高像素 -- 三星推出并量产的0.64?像素ISOCELL JN1

三星推出0.64?像素ISOCELL JN1目前,0.64?是三星量产的图像传感器中的最小像素尺寸。
发表于 06-10 10:26 ? 1518次 阅读
小尺寸高像素 -- 三星推出并量产的0.64?像素ISOCELL JN1

高通创投VS华为哈勃科技,谁能精准布局芯片和5G赛道的未来?

今年前5个月,高通创投和华为哈勃投资都在中国本土不断落子,这两家性格迥异的5G行业的全球领先公司,在....
的头像 章鹰 发表于 06-09 08:15 ? 8209次 阅读
高通创投VS华为哈勃科技,谁能精准布局芯片和5G赛道的未来?

光刻机是干什么用的

  芯片制造流程其实是多道工序将各种特性的材料打磨成形,经循环往复百次后,在晶圆上“刻”出各种电子特性的区域,最后形成数...
发表于 09-02 17:38 ? 607次 阅读
光刻机是干什么用的

光刻机工艺的原理及设备

  关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一...
发表于 07-07 14:22 ? 904次 阅读
光刻机工艺的原理及设备

如果国家以两弹一星的精神投入光刻机

如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?...
发表于 06-10 19:23 ? 1195次 阅读
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机

车用半导体标准将出炉,将成各企业下一个主战场

国际标准化组织(ISO)的车用半导体设计生产指南草案进入最后确认阶段,2018年正式发布后,汽车及零组件业者预料会依照该指南...
发表于 05-16 09:26 ? 1985次 阅读
车用半导体标准将出炉,将成各企业下一个主战场

GPNE拿下爱立信、三星电子、多普达后,如今又把专利对手瞄准苹果

` 一位原籍在中国澳门的夏威夷大学教授,95年的时候在中国申请了发明专利“寻呼方法及装置”,这个专利是3GPP通信标准的一项...
发表于 01-05 11:12 ? 3403次 阅读
GPNE拿下爱立信、三星电子、多普达后,如今又把专利对手瞄准苹果

【EMC家园】盘点几种全新无线充电模式,发展潜力巨大!

无线充电获得苹果智慧表Apple Watch和三星电子新旗舰机Galaxy S6采用,研调机构认为,今年有望成为无线充电装置的起飞年,预...
发表于 12-18 16:08 ? 2576次 阅读
【EMC家园】盘点几种全新无线充电模式,发展潜力巨大!

小米必须做自己芯片吗?

     早上看新闻,据说三星电子、LG、华为等手机制造厂大多等不急高通的新AP,计划2015年上半新机种将各...
发表于 12-30 21:31 ? 5123次 阅读
小米必须做自己芯片吗?

BLE:智能家居一笔数以亿计的小生意

``      在物联网迅猛发展的带动下,智能家居将是今后家居领域发展的必然趋势,广阔的发展空间也给行业带来...
发表于 09-23 15:34 ? 2390次 阅读
BLE:智能家居一笔数以亿计的小生意

LED照明专利战 三星电子首次获得胜诉

近日获悉,韩国三星电子与德国欧司朗有关LED照明技术专利官司,三星首获胜诉。该案中涉及的2项欧司朗专利与将LED的颜色从蓝...
发表于 05-29 10:59 ? 118次 阅读
LED照明专利战 三星电子首次获得胜诉
黄色网站暴乳欧美狂操老妇流水,全国亚洲最新黄色网站,欧美VA黄色